激光雷達（LiDAR）被認為是自動駕駛/無人駕駛不可缺少的三維視覺傳感器。
MEMS掃描微鏡技術(shù)有望解決傳統(tǒng)機械式激光雷達在成本、穩(wěn)定性和量產(chǎn)性等方面的問題。
希景專注研發(fā)和生產(chǎn)MEMS掃描微鏡，并提供激光雷達核心掃描模組和發(fā)射模組。
MEMS二維掃描微鏡性能參數(shù)
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參數(shù)
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產(chǎn)品一
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產(chǎn)品二
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鏡面直徑
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5mm
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5mm
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快軸諧振頻率
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1.2K-1.3KHz
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1.7K-1.8kHz
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功耗30mW時，快軸諧振光學轉(zhuǎn)角
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30°
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30°
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慢軸準靜態(tài)工作頻率
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0~60 Hz
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0~60 Hz
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功耗30mW時，慢軸準靜態(tài)光學轉(zhuǎn)角
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20°
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20°
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慢軸諧振頻率
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160~180 Hz
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230~250 Hz
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功耗10mW時，慢軸諧振光學轉(zhuǎn)角
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30°
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30°
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鏡面鍍膜
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金/鋁
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金/鋁
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快慢軸角度傳感器
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壓阻傳感器
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壓阻傳感器
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工作溫度
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-40℃~100℃
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-40℃~100℃
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抗沖擊性能
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>500m/s2
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>500m/s2
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備注：
（1）快軸只能做諧振掃描，慢軸可以做諧振掃描或準靜態(tài)掃描
（2）快軸或者慢軸可以單獨單向掃描
MEMS二維掃描微鏡定制化服務
希景科技擁有豐富的MEMS微鏡領(lǐng)域的開發(fā)經(jīng)驗，能夠根據(jù)客戶需求，提供不同鏡面尺寸和諧振頻率的單軸諧振型微鏡，單軸準靜態(tài)微鏡，指向型微鏡等定制化服務。大大的節(jié)省客戶的開發(fā)時間。
5mm-MEMS（1.2KHz）微鏡產(chǎn)品規(guī)格書
5mm-1.8k-s140-f200 MEMS微鏡規(guī)格書
MEMS可靠性測試報告
